蓟州区某系列单轴精密运动台设计特点
发布时间：2021-05-24 15:32 来源：www.fuhai31.com
[摘要] 蓟州区某系列单轴精密运动台设计特点，采用非接触式直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，其不会与一直性磁铁发生不良反应，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。
蓟州区某系列单轴精密运动台设计特点，采用非接触式直线直驱电机驱动，非常适合要求高精度的需求，其不会与一直性磁铁发生不良反应，在低速运行时也能保持平稳，在高速状态系也不会产生振动。直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；该结构可以把平台高度降低，结构紧凑，减小阿贝误差的影响。
非接触式光栅闭环反馈，优化考虑热膨胀的设计，这种紧凑是结构设计，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得重复定位精度±75nm，微动步进5nm.
采用低摩擦气缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。
抗蠕动交叉滚柱直线导轨导向，滚柱是线接触，比滚珠接触面积大，工作时比较平稳；交叉排列,多方向受力时比较稳定；该结构可以把平台高度降低，结构紧凑，减小阿贝误差的影响。
非接触式光栅闭环反馈，优化考虑热膨胀的设计，这种紧凑是结构设计，在有限的空间内具有鲁棒性和准确度，获得重复定位精度±75nm，微动步进5nm.
采用低摩擦气缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。